千葉大学 大学院工学研究科・工学部


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森田 昇
モリタ ノボル
NOBORU MORITA
教授
人工システム科学専攻
機械系コース
機械工学科
加工物理学教育研究分野 17号棟410室
043-290-3226
nmorita@
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千葉大学工学部機械工学科卒業1981,同大学院工学研究科機械工学専攻修了(工学修士)1983,同自然科学研究科生産科学専攻修了(学術博士)1991
株式会社東芝1983,千葉大学工学部助手1991,同助教授1995,富山大学工学部教授2002,2011現職
精密工学会、日本機械学会、砥粒加工学会、レーザ協会、型技術協会
機械加工、特殊加工、工作機械
Machine Tool(工作機械)、Machining(加工)、Measuring(計測)の3分野を中心に、“マイクロ・ナノ”の微細な世界を“創ったり観たり”できる新技術について研究している.
・超精密機械加工法の開発と加工現象の微視的究明
・加工表面層の微視的評価法の開発と応用
・ミニチュア化生産システムの開発と応用
・ナノスケール機械加工・計測システムの開発と応用
・エネルギビーム複合加工法の開発と応用
・ホリスティックナノ加工法の開発と応用
* 固体イオン交換法によるレーザ加工用ガラスの開発(ガラス中での金属イオンの拡散・ドリフト挙動の数値解析 : 松坂壮太,小早川友子,比田井洋史,森田昇.精密工学会誌79巻 5号pp.455-459 (2013年5月)
* Numerical Simulation of Boundary Condition Dependence of Mask Pattern Placement Error by Finite Difference Method in Steady State : Akira Chiba, Souta Matsusaka, Hirofumi Hidai, Noboru Morita. ( 2013年3月)
* 光学ガラスと単結晶ダイヤモンドの摩擦摩耗特性 : 飯塚保,森田昇,山口誠,上野滋.
砥粒加工学会誌 57巻 3 号pp.552-559 (2013年3月)
* グラファイト電極用材料の微細軸加工と放電加工への応用 : 林諒,森田昇,山田茂,高野登. 砥粒加工学会誌 57 巻 1号pp.47-52 (2013年1月)
* DLC被覆工具を用いたアルミニウム合金の旋削におけるアルコール水溶液ミストの効果: 横田知宏,澤武一,横内正洋,森田昇. 精密工学会誌79巻 1号pp.81-86 (2013年1月)
* 雰囲気制御条件下におけるマイクロ・ナノテクスチャを有する切削工具の摩擦特性 : 川堰宣隆,杉森博,森田昇,せつ敏超,関口徹. 砥粒加工学会誌 56 巻 12号pp.841-846 (2012年12月)
* Micro-groove cutting for different materials using an elastic leaf spring type tool holder : Herrera-Granados German,Ashida Kiwamu,Ogura I.Okazaki Y.Morita N.
Ruiz-Huerta L.Caballero-Ruiz A. Key Engineering Materials,Vols.523-524(2012) pp.93-98 (2012年11月)
* レーザ照射によるシリコン基板上への金ナノ粒子の転写と金の周期パターン形成 : 比田井洋史,毛塚翔吾,松坂壮太,森田昇. 精密工学会誌78巻11号pp.980-984 (2012年11月)
* LIPJI(Laser-Induced Powder Jet Implantation)法による アルミ合金への粒子の埋め込み : 比田井洋史,山野井健,松坂壮太,森田昇. 砥粒加工学会誌 56 巻 11号pp.762-767 (2012年11月)
* 硬脆材料の超精密加工を可能とする超精密旋盤の開発 : 砥粒加工学会誌 56 巻 8 号pp.552-559 (2012年8月)
* CFRP材料の高能率・高精度加工法に関する研究(第1報 CFRP材料の2次元切削における工具形状の影響): 深見修平,森田昇,山田茂,高野登. 砥粒加工学会誌 56 巻 8 号pp.545-551 (2012年8月)
* ゴム含有軟質コンポジット材の切削現象と切りくずの温度依存性 : 山本礼,森田昇,山岡克徳. 日本機械学会論文集(C編),78巻,789号,pp.1925-1935 (2012年5月)
* Laser micro-machinability of borosilicate glass surfacemodified by electric field-assisted ion-exchange method : S Matsusaka, T Kobayakawa, H Hidai and
N Morita. Journal of Physics Conference Series
379(2012) 012035 (2012年6月)
* ひずみゲージと空気静圧軸受構造を用いた微小径ドリル加工用切削動力計の開発 : 新井亮一,河部繁,池田博通,森田昇,西貴仁. 砥粒加工学会誌 56 巻 6 号pp.408-413 (2012年6月)
* 薄板ガラス用スクライビングホイールのころがり摩擦挙動と割断現象に関する研究: 羽田篤史,森田昇,山田茂,高野登. 砥粒加工学会誌 56 巻 4 号pp.250-255 (2012年4月)
* 力センサ内蔵型スピンドルを持つ微細穴加工機の開発と応用 : 新井亮一,森田昇,西貴仁,小口京吾,武井持,成田周介.砥粒加工学会誌 56 巻 4 号pp.238-243 (2012年4月)
* Atmosphere Effects on the Machinability of Cutting Tools with Micro-and Nanoscale Textures : N.Kawasegi, H.Sugimori,N.Morita,M.Xue. Advanced Materials Research Vol.325(2011) pp.333-338 (2011年12月)
* 切削力検知機構を持つ微細穴加工用センサ・ビルトイン・スピンドルの開発 : 新井亮一,森田昇,西貴仁,長洲慶典,小口京吾,武井持,中山司郎,田中俊宏.精密工学会誌77巻 10号pp.878-882 ( 2011年10月)
* ファインセラミックスの定切込み研削における研削条件とAE波の関係(第1報)−AE波振幅の定式化− : 澤武一,幾瀬康史,海野邦昭,小田喜敏美,冨田進,森田昇,東江真一. 精密工学会誌77巻 9号pp.878-882 (2011年9月)
* 切削加工を用いた軟質コンポジット材料のスライシング-切りくずのカールと切削抵抗を減少させる加工パラメータの検証- : 山本礼,森田昇,矢嶋倫明,山岡克徳. 精密工学会誌76巻 11pp.1255-1260 (2010年11月)
* Micro/nano Surface Modification on Brittle Materials by Tribo Nanolithography Using PCD Tool : J.W.Park,N.Morita,D.W.Lee. ournal of Nanoscience and
Nanothechnology.Vol.10,No.7pp.4440-4447 (2010年7月)
* ファインセラミックスの定切込み平面研削加工における研削抵抗の定式化 : 澤武一,幾瀬康史,海野邦昭,森田昇. 精密工学会誌76巻 5号 pp.567-571 (2010年5月)
* High-Aspect-Ratio Structure Fabrication on (110)-Oriented Silicon Surfaces Using Tribo-Nanolithography : N.Kawasegi,N.Morita. Journal of Nanoscience and
Nanothechnology Vol.10,No.4 pp.2394-2400 (2010年4月)
* マイクロ・ナノテクスチャを有する小径ドリルを用いたアルミニウム合金の穴あけ加工 : 川堰宣隆,杉森博,森本英樹,森田昇,堀功. 日本機械学会論文集(C編)76巻,762号pp.446-452 (2010年2月)
* マイクロ・マノテクスチャによる表面機能の制御を利用した切削工具の開発.-DLCコーティッド工具によるアルミニウム合金の旋削加工- : 川堰宣隆,杉森博,森本英樹,森田昇,堀功. 精密工学会誌75巻,10号 (2009年9月)
* 微小切込みにおける2次元切削現象に関する研究-切込み量に対する刃先丸みの影響-: 池田雄一郎,森田昇,山田茂,高野登,大山達雄堀功. 砥粒加工学会誌53巻9号pp.560-565 (2009年9月)
* 加工用AFMカンチレバーによるLSI多重層の単一層除去加工 : 小森圭悟,森田昇,高野登,山田茂,大山達雄. 砥粒加工学会誌53巻,6号pp.385-387 (2009年6月)
* Development of cutting tools with microscale and nanoscale textures to improve frictional behavior : N.Kawasegi,H.Sugimori,H.Morimoto,N.Morita,I.Hori. Precision Engineering 33 pp.248-254 (2009年6月)
* 集束イオンビーム照射と化学エッチングを併用した3次元微細構造形成(微細構造形成の高能率化): 川堰宣隆,深瀬達也,森田昇,芦田極,谷口淳,宮本岩男,百田佐多生.(2008年12月)
* マシニングセンタ型ナノ加工・計測システムの開発に関する研究 : 稲垣清紀,森田 昇,芦田極,斉藤潤二. 精密工学会誌 74巻,11号pp.1176−1181 (2008年11月)
* GaAsのスクラッチ加工におけるクラック発生機構の結晶方位依存性 第2報:押し込み加工における結晶方位依存性 : 森田昇,川堰宣隆,田代雄介. 砥粒加工学会誌52巻,7号pp.406-411 (2008年7月)
* Three-dimensional fabrication on GaAs surface using electron beam-induced carbon deposition followed by wet Chemical etching : N.Morita,N.Kawasegi,K.Ooi.
Nanotechnology 19 pp.155302(4pp) (2008年4月)
* Highly charged ion beam applied to lithography technique(invited): S.Momota
Y.Nojiri,J.Taniguchi,I.Miyamoto,N.morita,N.Kawasegi. Review Scientific Instruments 79pp.02C302(4pp) 2008年4月
* Ion beam lithography by using highly charged ion beam of Ar : S.Iwamitsu,
M.Nagao,S.A.Pahlovy,K.Nishimura,M.Kashihara,S.Momota,Y.Nojiri,J.Taniguchi,
I.Miyamoto,T.Nakao,N.Morita,N.Kawasegi. (2008年2月)
* GaAsのスクラッチ加工におけるクラック発生機構の結晶方位依存性 第1報:GaAsにおけるクラック発生機構の特異性 : 森田昇,川堰宣隆,田代雄介,大井慶太郎,山田茂,高野登,大山達雄. 砥粒加工学会誌 51巻9号 pp.547-552 (2007年9月)
* Sub-micrometer-scale patterning on Zr-based metallic glass using focused ion beam irradiation and chemical etching. : N.Kawasegi,N.Morita,S.Yamada,N.Takano,
T.Oyama,K.Ashida,S.Momota,J.Taniguchi,I.Miyamoto,H. Ofune. (2007年8月)
* Morphological Control of a Tribo-Nanolithography-Induced Amorphous Silicon Phase for Three-Dimensional Lithography. : N.Kawasegi,N.Morita,S.Yamada,N.Takano,
T.Oyama,K.Ashida. Journal of Advanced Mechanical Design, Systems, and Manufacturing,Vol.1, No.3 pp.283-293 (2007年3月)
* Charecteristics of Mask Layer on (100) Silicon Induced by Tribo-Nanolithography with Diamond Tip Cantilevers Based on AFM.: J.W.Park,S.S.Lee,B.S.So,Y.H.Jung,
N.Kawasegi,N.Morita,D.W.Lee. (2007年3月)
* Nanomachining Zr-Based Metallic Glass Surface Using an Atomic Force Microscope.:
N.Kawasegi,N.Morita,S.Yamada,N.Takano,T.Oyama,K.Ashida,H.Ofune. International Journal of Machining and Machinability of Materials Vol.2,No.1 pp.3-16 (2007年3月)
* Depth Control of a Silicon Structure Fabricated by 100q keV Ar Ion Beam Lithography: N.Kawasegi,N.Morita,S.Yamada,N.Takano,T.Oyama,S.Momota,J.Taniguchi,I.Miyamoto.
Applied Surface Science Vol.253, No.6 pp.3284−3291 (2007年2月)
* Rapid nanopatterning of a Zr-based metallic glass surface utilizing focused ion beam induced selective etching : N.kawasegi,N.Morita,S.Yamada,N.Takano,T.Oyyama,
K.Ashida,J.Tanigiti,I.Miyamoto,S.Momota,H.Ofune. American Institute of Physics Vol.89,No.14 pp.143115-1 -143115-3 (2006年10月)
* Nanoscale Fabrication in Aqueous Solution using Tribo−Nanolithography : J.W.Park,D.W.Lee,N.Kawasegi,N.Morita International Journal of Precision Engineering and Manufacturing, Vol7, No.4 pp.8−13 (2006年10月)
* シリコンモールドを用いたダイヤモンドアレイ工具の開発と応用(第2報)−任意切れ刃を持った加工用カンチレバーの作製− : 川堰宣隆,深瀬達也,高野登,森田昇,山田茂,大山達雄,神田一隆,高野茂人,小幡勤,芦田極.精密工学会誌72巻,8号pp.1025-1029 (2006年8月)
* Nanomachining of Silicon Surface Using Atomic Force Microscope with Diamond Tip :
N.Kawasegi,N.Takano,D.Oka,N.Morita,S.Yamada,K.Kanda,S.Takano,T.Obata,K.Ashida.
ASME Journal of Manufacturing Science and Engineering Vol.128,3 pp.723-729.(2006年8月)
* Three-Dimensional Nanofabrication Utilizing Selective Etching of Silicon Induced by Focused Ion Beam Irradiation : N.Kawasegi,N.Morita,S.Yamada,N.Takano,T.Oyama
K.Ashida,J.Taniguthi,I.Miyamoto. (2006年6月)
* Etching Characteristics of A Silicon Surface Induced by Focused Ion Beam Irradiation N.Kawasegi, N.Morita, S.Yamada, N.Takano, T.Oyama, K.Ashida, J.Taniguchi
I.Miyamoto, S.Momota. International Journal of Manufacturing Technology and Management, 9, 1/2 pp.34−50 (2006年6月)
* Ion Beam Lithography by Use of Highly Charged Ar Ion Beam: S.Momota,S.Iwamitsu,
S.Goto,Y.Nojiri,J.Taniguchi,I.Miyamoto,H.Ohno,N.Morita,N.Kawasegi.Review of Scientific Instruments 77 pp.03C111-1-3 (2006年5月)
* Diamond Tip Cantilever for Micro/Nano Machining based on AFM: J.W.Park,D.W.Lee,
N.Takano,N.Morita. Material Science Forum Vol.505-507 pp.79-84 (2006年1月)
* Nanoscale Fabrication in Aqueous KOH Solution Using Tribo Nanolithography,
N.Kawasegi,J.W.Park, N.Morita, S.Yamada, N.Takano, T.Oyama, K.Ashida. Journal of
Vacuum Science and
Technology B.Vol. 23 No.6pp.2471-2475 (2005年11月)
* ビスマス添加銅合金のドリル加工 : 村井昭二,森田昇,山田茂,高野登,大山達雄,東哲也.ビスマス添加銅合金のドリル加工,銅と銅合金44巻pp.231-234 (2005年8月)
* Etch stop of silicon surface induced by tribo-nanolithography : N.Kawasegi
N.Morita,S.Yamada,N.Takano,T.Oyama,K.Ashida. Nanotechnology Vol.16 No.8pp.1411-1414 ,(2005年8月)
* ナノスケール機械加工と化学エッチングを併用した3次元極微細構造形成(第5報,マスク層の加工条件依存性): 川堰宣隆,森田昇,山田茂,高野登,大山達雄,芦田極. (2005年6月)
* ナノスケール機械加工と化学エッチングを併用した3次元極微細構造形成(第4報,マスキング作用のメカニズム): 川堰宣隆,森田昇,山田茂,高野登,大山達雄,芦田極.Jeong Woo PARK, 日本機械学会論文集(C編)71巻,706号pp.2035-2040,(2005年6月)
* ナノスケール機械加工と化学エッチングを併用した3次元極微細構造形成(第3報,エッチング加速作用のFIB照射条件依存性と3次元極微細構造形成への応用 : 川堰宣隆,
森田昇,山田茂,高野登,大山達雄,芦田極,谷口淳,宮本岩男. 日本機械学会論文集(C編)71巻,705号pp.1754-1759 (2005年5月)
* アルミニウム合金の高速切削における工具材種の影響 : 竹島卓哉,柴田寿仁,森田昇,山田茂,高野登,大山達雄,安岡学,石金清英.砥粒加工学会誌49巻,5号pp.254-258 (2005年5月)
* プレス成型法による粉末寒天配合乾式切断砥石の開発 : 南部直樹,陶永文,森田昇,永井長三,森幹,野呂良久,岸本幸宏,吉田嘉太郎. 砥粒加工学会誌49巻,3号pp.163-169 (2005年2月)
* Nanoscale Fabrication in Aqueous Solution using Tribo-Nanolithography : J.W.Park
D.W.Lee,N.Kawasegi,N.Morita .Journal of the Korean Society of Precisiofn Engineering Vol.22 No.2 pp.194-201 ,(2005年2月)
* 2次元切削の可視化による切削現象の研究 : 竹島卓哉,森田昇,山田茂,高野登,大山達雄. 砥粒加工学会誌49巻,1号pp.24-29, (2005年1月)
* ナノスケール機械加工とアルカリエッチングを併用した単結晶シリコン表面のマイクロファブリケーション(第2報)—マスキング作用の加工条件依存性と3次元微細構造への応用—:川堰宣隆,廖国新,森田昇,山田茂,高野登,大山達雄,芦田極. 精密工学会誌70巻,12号pp.1544-1548, (2004年12月)
* ダイヤモンドアレイ工具を用いたマイクロ加工に関する研究(第2報:1立方インチサイズ超小型フライス盤の開発) 高野登,杉原英之,岡大輔,森田昇,山田茂,大山達雄,芦 田極. 砥粒加工学会誌48巻12号pp.700-703, (2004年12月)
* Mechanical Approach to Nanomachining of Silicon Using Oxide Characteristics
Based on Tribo Nanolithography (TNL) in KOH Solution ,J.W.Park, N.Kawasegi, N.Morita ,D.W.Lee. ASME Journal of Manufacturing Science and Engineering Vol.126 No.11 pp.801-806 (2004年11月)
* シリコンモールドを用いたダイヤモンドアレイ工具の開発と応用(第1報)—シリコンモールドによるダイヤモンドアレイ工具の作製— : 高野登,森田昇,林弘樹,川堰宣隆,
山田茂,大山達雄,神田一隆,高野茂人,小幡勤. 精密工学会誌70巻11号 pp.1402-1406 (2004年1月)
* インクリメンタルフォーミングによるマイクロ張出し成形.—第一報:ピラミッド形状の張出し特性— :平松信,森田昇,山田茂,高野登,大山達雄. 砥粒加工学会誌 48巻11号
pp.635-640 (2004年11月)
* Tribonanolithography of silicon in aqueous solution based on atomic force
microscopy :J.W.Park,N.Kawasegi,N.Morita,D.W.Lee Applied Physics Letters
Vol.85,N0.10 pp.1766-1768 (2004年10月)
* ダイヤモンドアレイ工具を用いたマイクロ加工に関する研究(第1報:精密加工用工具としての性能評価):高野登,森田昇,林弘樹,川堰宣隆,山田茂,大山達雄,神田一隆,高 野茂人,小幡勤.砥粒加工学会誌48巻,9号pp.510-514(2004年9月)
* ナノスケール機械加工と化学エッチングを併用した3次元極微細構造形成(第2報,集束イオンビーム照射を利用した3次元微細構造形成の可能性): 川堰宣隆,柴田浩一,森 田昇,芦田極,谷口淳,宮本岩男.日本機械学会論文集(C編)70巻,696号pp.2541-2547(2004年8月)
* ナノスケール機械加工と化学エッチングを併用した3次元極微細構造形成(第1報,摩擦力顕微鏡機構を利用した3次元微細構造の可能性): 川堰宣隆,森田昇,山田茂,高野登,大山達雄,芦田極.日本機械学会論文集(C編)70巻,696号pp.2533-2540(2004年8月)
* SiおよびMnを添加したCu-Zn合金の二次元切削特性:竹島卓哉,森田昇,山田茂,高野登,大山達雄,松田健二,池野進.銅と銅合金43巻pp.280-284(2004年8月)
* トライボナノリソグラフィーと化学エッチングを併用した単結晶シリコンのマイクロファブリケーション ー微細構造の高精細化に関する検討—:川堰宣隆,森田昇,山田茂,高野登,大山達雄,芦田極.砥粒加工学会誌48巻,8 号pp.456-461(2004年8月)
* 特殊青銅合金の被削性に及ぼす添加元素の影響:佐武晃,森田昇,山田茂,高野登,大山達雄,矢後亘,市田賢一,竹内和夫,銅と銅合金42巻pp.248-252(2003年8月)
* 球状単結晶シリコンの異方性エッチングによるマイクロ形状創成—結晶方位の選択指針の提案—:郭麗麗,平井聖児,森田昇,芦田極 砥粒加工学会誌47巻7pp.396-398
(2003年7月)
* パソコンNC化マイクロフライス盤の開発:浅田規央,栗原豪,森田昇,吉田嘉太郎,林亮,伊藤寿美夫,岡崎祐一,砥粒加工学会誌47巻7号pp.373-378(2003年7月)
* 球状単結晶シリコンの異方性エッチングによるマイクロ形状創成:平井聖児,鈴木庸,森田昇,芦田極,精密工学会誌69巻7号pp.960-964(2003年7月)
* 微小接触荷重下の単結晶シリコンの摩擦摩耗現象に関する研究:富岡利之,森田昇, 砥粒加工学会誌46巻1号pp.48-50(2002年1月)
* 脆性材料への圧子押込みにおける亀裂の発生と制御(第4報,複数圧痕による亀裂の誘因と伸展):宍戸善明,鈴木清,古閑伸裕,植松哲太郎,森田昇,吉岡正人,砥粒加工学会誌46巻1号pp.44-47 (2002年1月)
* ナノスケール機械加工とアルカリエッチング併用した単結晶シリコン表面のマイクロファブリケーション:陳利益,森田昇,芦田極,精密工学会誌67巻9号 pp.1453-1457(2001年9月)
* 硬脆材料への圧子押込みにおける亀裂の発生と制御(第3報,FEM解析による圧痕角部への亀裂発生機構の推定:古閑伸裕,飯田祥央,宍戸善明,鈴木清,植松哲太郎 ,森田昇,砥粒加工学会誌45巻7号 pp.352-355(2001年7月) 
* 硬脆材料への圧子押込みにおける亀裂の発生と制御(第2報,傾斜圧子法による亀裂発生方向の制御):宍戸善明,鈴木清,植松哲太郎,森田昇,吉岡正人,砥粒加工学会誌45巻7号 pp.348-351 (2001年7月)
* 硬脆材料への圧子押込みにおける亀裂の発生と制御(第1報,各種圧子による亀裂の発生状況):宍戸善明,鈴木清,植松哲太郎,吉岡正人,森田昇,砥粒加工学会誌45巻2号 pp.91-94(2001年2月)
* Study on Nano-machining Process Using Mechanism of
a Friction Force Microscope:芦田極,森田昇,吉田嘉太郎,JSME International Journal Vol.44, No.1 pp.244-253(2001年1月)
* 摩擦力顕微鏡機構による極微細加工とアルカリエッチングを併用した単結晶シリコンへのマスクレスパターン形成:陳利益,森田昇,芦田極,精密工学会誌66巻11号pp.1807-1811(2000年11月)
* 原子間力顕微鏡一体型加工評価装置の開発(第3報,加工特性の分子動力学解析): 佐々木源,森田昇,吉田嘉太郎,芦田極,砥粒加工学会誌44巻9号pp.396-401(2000年9月)
* Study on numerical analysis of the frequency characteristic of laser processing sound:栗田恒雄,大野幸彦,森田昇,Journal ofMaterialsProcessing TechnologyVol.101pp.193-197(2000年5月)
* (TiAl)N薄膜の高温スクラッチ試験:中川周一,森田昇,吉田嘉太郎,砥粒加工学会誌44巻4号pp.175-179(2000年4月)
* 切削加工に伴うエキソ電子放射挙動に関する研究:嶋顕司,森田昇,吉田嘉太郎,精密工学会誌66巻3号pp.424-428(2000年3月)
* 単結晶純鉄の応力による構造相転移の検討(分子動力学法を用いた塑性域の一軸引張試験解析):人見尚,森田昇,吉田嘉太郎,
諏訪好英,精密工学会誌65巻12号pp.1798-1803(1999年12月)
* 多結晶純鉄のヤング率導出方法に関する検討(分子動力学法を用いた弾性域の一軸引張試験解析):人見尚,森田昇,吉田嘉太郎、
諏訪好英,精密工学会誌65巻11号pp.1594-1599(1999年11月)
* ジルコニアセラミックスの高温切削:ジルコニアセラミックスの高温切削:中川周一,永田典夫,森田昇,吉田嘉太郎,飯田哲雄,塩飽潔、砥粒加工学会誌43巻9号pp.401-404(1999年9月)
* 高速繰り返しQスイッチ発振YAGレーザーにおける1パルス加工量と加工音の相関性の研究:栗田恒雄,大野幸彦,森田昇,レーザー研究27巻4号pp.286-290(1999年2月)
* 高硬度金属材料の高速エンドミル加工に関する研究(第2報,工具形状が切削抵抗,切れ刃温度および工具摩耗に及ぼす影響):
武藤学,森田昇,吉田嘉太郎,精密工学会誌65巻2号pp.234-239 (1999年2月)
* 微小押し込み・引っかき装置の試作と加工面評価への応用:山 田高三,森田昇,吉田嘉太郎,精密工学会誌65巻1号pp.131-135(1999年1月)
* 硬脆材料の高品位加工に関する研究(第2報,水蒸気圧がクラック進展挙動に及ぼす影響):干化東,森田昇,吉田嘉太郎,日本機械学会論文集(C編)64巻628号pp.4876-4880(1998年12月)
* 硬ぜい材料の高温切削に関する研究:永田典雄,森田昇,吉田嘉太郎,精密工学会誌64巻12号pp.1831-1835(1998年12月)
* 超音波法による精密加工面の残留応力評価に関する研究:景山 泰輔,水原和行,森田昇,吉田嘉太郎,精密工学会誌64巻12号
pp.1831-1835(1998年11月)
* 高硬度金属材料の高速エンドミル加工に関する研究(第1報,切削抵抗・工具切れ刃温度同時測定装置の開発):武藤学,森田昇,吉田嘉太郎,精密工学会誌64巻11号pp.1674-1678(1998年11月)
* 摩擦力顕微鏡機構を用いた極微小な機械加工の研究(第2報,FFM一体形加工評価装置を用いた微細加工の特性:芦田極,森田昇,吉田嘉太郎,日本機械学会論文集(C編)64巻626号pp.4079-4085(1998年10月)
* 摩擦力顕微鏡機構を用いた極微小な機械加工の研究(第1報,FFM一体形加工評価装置の試作):芦田極,森田昇,吉田嘉太郎,
日本機械学会論文集(C編)64巻626号pp.4072-4078(1998年10月)
* レーザー加工音の周波数特性解析の研究:栗田恒雄,大野幸彦,森田昇,レーザー研究26巻10号pp.754-p.759(1998年10月)
* 原子間力顕微鏡一体型加工評価装置の開発(第2報,微細加工中の水平分力測定:佐々木源,芦田極,森田昇,吉田嘉太郎,砥粒加工学会誌42巻8号pp.322-326(1998年8月)
* 硬脆材料の高品位加工に関する研究(第1報,低温における変形破壊挙動):于化東,森田昇,吉田嘉太郎,日本機械学会論文集(C編)64巻623号pp.2762-2767(1998年7月)
* 高温における単結晶シリコンの脆性ー延性遷移と切削加工への応用:森田昇,吉田嘉太郎,小林英治,永田典雄,日本機械学会論文集(C編)64巻621号pp.1854-1859(1998年5月)
* 微小押込み装置の試作と加工面評価への応用:山田高三,森田昇,吉田嘉太郎,砥粒加工学会誌42巻1号pp.37-38(1998年1月)
* 特殊環境下における切削加工の研究(第2報,真空内切削加工における特異現象の支配因子):小林博文,森田昇,吉田嘉太郎,
日本機械学会論文集(C編)63巻616号pp.4359-4363(1997年12月)
* 高硬度材の高速エンドミル加工に関する研究(第2報,工具ねじれ角が切削抵抗および工具摩耗に及ぼす影響:森田昇,吉田嘉太郎,岸岡成泰,武藤学,上野滋,日本機械学会論文集(C編)63巻616号pp.4354-4358(1997年12月)
* 高硬度材の高速エンドミル加工に関する研究(第1報,高応答形切削動力計の開発と切削過程のモニタリング:森田昇,吉田嘉太郎,岸岡成泰,上野滋,日本機械学会論文集,(C編)63巻616
pp.4347-4353(1997年12年)
* 金属材料の高速切削加工における酸素圧力の効果:小笠原聡史,
森田昇,吉田嘉太郎,精密工学会誌63巻11号pp.1563-1568
(1997年11月)
* 原子間力顕微鏡一体型加工評価装置の開発(加工用AFMカンチレバーの開発:芦田極,森田昇,吉田嘉太郎,平井聖児,砥粒加工学会誌 41巻7号pp.276-281(1997年7月)
* 陽極火花放電法を利用した微細砥粒の固定化と研磨加工への応用:影山泰輔,森田昇,吉田嘉太郎,瀧井康裕,花形晴雄,柳田和夫、砥粒加工学会誌41巻5号pp.167-171(1997年5月)
* シリカ系ガラスへの圧子押込みにおける亀裂の生成・進展挙動と雰囲気の効果:干化東,森田昇,吉田嘉太郎,砥粒加工学会誌41巻3号pp.97-101(1997年3月)
* レーザープロセシングに関する基礎研究(材料除去量と音圧レベルの相関性):栗田恒雄,大野幸彦,森田昇,レーザー研究25巻1号 pp.88-93(1997年1月)
* 光てこ式AFMを用いた表面粗さ測定における誤差因子:芦田極,森田昇,吉田嘉太郎,日本機械学会論文集(C編)62巻603号 pp.4415-4422(1996年11月)
* 特殊環境下における切削加工の研究(第1報,真空内切削装置の試作と純アルミニウムの加工実験):小林博文,森田昇,吉田嘉太郎,日本機械学会論文集(C編)62巻603号,pp.4386-4392(1996年11月)
* 単結晶シリコンの機械加工における脆性延性遷移とその制御に関する研究─圧子すべり接触モデルによる遷移挙動の解析─:森田昇,吉田嘉太郎,日本セラミックス協会学術論文誌102巻12号pp.1137-1141(1994年12月)
* 顕微レーザラマン分光法を用いた単結晶シリコンの残留応力の評価:小林博文,水原和行,森田昇,吉田嘉太郎,砥粒加工学会誌38巻4号pp.205-210(1994年7月)
* 電子線描画マイクログリッドによる切削加工ひずみの測定:
高野和雅,森田昇,吉田嘉太郎,岸本哲,精密工学会誌60巻4号
pp.581-585(1994年4月)
* 単結晶シリコンの単粒研削における砥粒形状が脆性ー延性遷移に及ぼす影響:呉東権,森田昇,吉田嘉太郎,砥粒加工学会誌38巻2号 pp.101-103(1994年3月)
* セラミックスのレーザー熱衝撃による亀裂の生成・伝播挙動
森田昇,日本セラミックス協会学術論文誌101巻5号pp.522-527
(1993年5月)
* 脆性材料の研削加工における砥粒相互間の応力場の干渉作用:
森田昇,呉東権,福留康行,吉田嘉太郎,砥粒加工学会誌37巻1号pp.31-36(1993年1月)
* 単結晶シリコンの切削加工に関する研究(第1報,脆性−延性遷移に伴う加工表面性状の変化):呉東権,森田昇,吉田嘉太郎,日本機械学会論文集(C編)59巻557号pp.283-288(1993年1月)
* 単結晶シリコンの研削加工に関する研究(第2報,脆性−延性遷移における材料温度および荷重負荷速度の影響:呉東権,森田昇,吉田嘉太郎,日本機械学会論文集(C編)58巻555号pp.3398-3403(1992年11月)
* 共有結合性セラミックスのレーザ加工に関する研究(第3報,電離蒸気の空間分布と制御):森田昇,荘志剛,渡部武弘,吉田嘉太郎,精密工学会誌58巻8号pp.1357-1362(1992年8月)
* 単結晶シリコンの研削加工に関する研究(第1報,砥石成形が加工表面性状に及ぼす影響):呉東権,森田昇,吉田嘉太郎,日本機械学会論文集(C編)58巻546号pp.602-606(1992年2月)
* 共有結合性セラミックスのレーザ加工に関する研究(第2報,破壊要因とクラックの抑制):森田昇,渡部武弘,吉田嘉太郎,精密工学会誌58巻1号pp.99-104(1992年1月)
* レーザ誘起プレーティングにおけるレーザ加熱の効果:森田昇,渡部武弘,吉田嘉太郎,精密工学会誌57巻12号pp.2199-2205(1991年12月)
* Newly Developed Laser-Sublimating Method for Direct Formation of Conductor Film on Ceramic Substrates:
N.Morita,T.Watanabe,Y.Yoshida ,Annals of the CIRP Vol.40, pp.191-193(1991年8月)
* 窒化けい素セラミックスのクラックフリーレーザ加工(第3報,破壊強度と残留応力:森田昇,渡部武弘吉田嘉太郎,日本機械学会論文集(C編)57巻537号pp.1749-1754(1991年5月)
* 共有結合性セラミックスのレーザ加工に関する研究(第1報,蒸気圧とプラズマの生成挙動):森田昇,荘志剛,渡部武弘,吉田嘉太郎,精密工学会誌57巻4号pp.693-698(1991年4月)
* 窒化けい素セラミックスのクラックフリーレーザ加工(第2報,過渡熱応力とクラックの生成挙動):森田昇,渡部武弘,吉田嘉太郎,日本機械学会論文集(C編)57巻535号pp.1031-1039
(1991年3月)
* Crack-Free Processing of Hot-Pressed Silicon Nitride Ceramics using Pulsed YAG Laser:N.Morita,T.Watanabe,
Y.Yoshida,JSME International Journal(SeriesⅢ)Vol.34, No.1
pp.149-153(1991年1月)
*窒化けい素セラミックスの無欠陥レーザ加工:森田昇,渡部武弘,吉田嘉太郎,日本機械学会論文集(C編)56巻522号pp.498-503(1990年2月)
* セラミックスのレーザ熱分解による導体膜の直接選択形成に関する研究:森田昇,渡部武弘,吉田嘉太郎, 日本機械学会論文集(C編)55巻515号pp.1796-179(1989年7月)
* レーザプレーティングによるセラミック基板への金属薄膜の空間選択形成に関する研究:森田昇,渡部武弘,吉田嘉太郎,日本機械学会論文集(C編)55巻515号pp.1790-179(1989年7月)
* Direct formation of conductor films by laser sublimating of ceramics:N.Morita,T.Watanabe,Y.Yoshida, Applied Physics Letter Vol.54, No.20, pp.1974-1975 (1989年5月)
* Pulsed laser processing of ceramics in water : N.Morita,
I.Ishida,Y.Fujimori ,Applied Physics Letter Vol.52, No.23, pp.1965-1966




[1]Micro/nano Surface Modification on Brittle Materials by Tribo Nanolithography Using PCD Tool:J.W.Park,N.Morita,D.W.Lee,Journal of Nanoscience and Nanothechnology.Vol.10,No.7,pp.4440-4447(2010)
[2]High-Aspect-Ratio Structure Fabrication on (110)-Oriented Silicon Surfaces Using Tribo- Nanolithography:N.Kawasegi,N.Morita,Journal of Nanoscience and Nanothechnology,Vol.10,No.4,pp.2394-2400(2010)
[3]集束イオンビーム照射と化学エッチングを併用した3次元微細構造形成(微細構造形成の高能率化):川堰宣隆,深瀬達也,森田昇,芦田極,谷口淳,宮本岩男,百田佐多生,日本機械学会論文集(C編),74巻748号,pp.3056-3062(2008)
[4]マシニングセンタ型ナノ加工・計測システムの開発に関する研究:稲垣清紀,森田昇,芦田  極,斉藤潤二,精密工学会誌,74巻,11号,pp.1176−1181(2008)
[5]GaAsのスクラッチ加工におけるクラック発生機構の結晶方位依存性(第2報,押し込み加工における結晶方位依存性):森田昇,川堰宣隆,田代雄介,砥粒加工学会誌52巻,7号,pp.406-411(2008)
[6]Three-dimensional fabrication on GaAs surface using electron beam-induced carbon deposition followed by wet Chemical etching:N.Morita,N.Kawasegi,K.Ooi,Nanotechnology 19,pp.155302(4pp)(2008)
[7]GaAsのスクラッチ加工におけるクラック発生機構の結晶方位依存性(第1報,GaAsにおけるクラック発生機構の特異性):森田昇,川堰宣隆,田代雄介,大井慶太郎,山田茂,高野登,大山達雄,砥粒加工学会誌,51巻,9号,pp.547-552(2007)
[8]Sub-micrometer-scale patterning on Zr-based metallic glass using focused ion beam irradiation and chemical etching:N.Kawasegi,N.Morita,S.Yamada,N.Takano,T.Oyama,K.Ashida,S.Momota,J.Taniguchi,I.Miyamoto,H. Ofune,Nanotechnology 18,pp.375302(8pp)(2007)
[9]Morphological Control of a Tribo-Nanolithography-Induced Amorphous Silicon Phase for Three-Dimensional Lithography.:N.Kawasegi,N.Morita,S.Yamada,N.Takano,T.Oyama,
K.Ashida,Journal of Advanced Mechanical Design, Systems, and Manufacturing,Vol.1, No.3,pp.283-293(2007)
[10]Nanomachining Zr-Based Metallic Glass Surface Using an Atomic Force Microscope:N.Kawasegi,N.Morita,S.Yamada,N.Takano,T.Oyama,K.Ashida,H.Ofune,International Journal of Machining and Machinability of Materials Vol.2,No.1,pp.3-16(2007)
[11]Depth Control of a Silicon Structure Fabricated by 100q keV Ar Ion Beam Lithography:N.Kawasegi,N.Morita,S.Yamada,N.Takano,T.Oyama,S.Momota,J.Taniguchi,I.Miyamoto,Applied Surface Science,Vol.253,No.6,pp.3284−3291(2007)
[12]Nanoscale Fabrication in Aqueous Solution using Tribo−Nanolithography:J.W.Park,D.W.Lee,N.Kawasegi,N.Morita,International Journal of Precision Engineering and Manufacturing, Vol7, No.4,pp.8−13(2006)
[13]Three-Dimensional Nanofabrication Utilizing Selective Etching of Silicon Induced by Focused Ion Beam Irradiation:N.Kawasegi,N.Morita,S.Yamada,N.Takano,T.Oyama,K.Ashida,J.Taniguthi,I.Miyamoto,JSME International Journal(Series C),Vol.49,No.2,pp.583-589(2006)
[14]Nanoscale Fabrication in Aqueous KOH Solution Using Tribo Nanolithography:N.Kawasegi,J.W.Park,N.Morita,S.Yamada,N.Takano,T.Oyama,K.Ashida,Journal of Vacuum Science and Technology B.Vol. 23,No.6,pp.2471-2475(2005)
[15]Etch stop of silicon surface induced by tribo-nanolithography:N.Kawasegi,N.Morita,S.Yamada,N.Takano,T.Oyama,K.Ashida,Nanotechnology,Vol.16,No.8,pp.1411-1414(2005)
[16]ナノスケール機械加工と化学エッチングを併用した3次元極微細構造形成(第5報,マスク層の加工条件依存性):川堰宣隆,森田昇,山田茂,高野登,大山達雄,芦田極,日本機械学会論文集(C編),71巻,706号,pp.2041-2046(2005)
[17]ナノスケール機械加工と化学エッチングを併用した3次元極微細構造形成(第4報,マスキング作用のメカニズム):川堰宣隆,森田昇,山田茂,高野登,大山達雄,芦田極,Jeong Woo PARK,日本機械学会論文集(C編),71巻,706号,pp.2035-2040(2005)
[18]ナノスケール機械加工と化学エッチングを併用した3次元極微細構造形成(第3報,エッチング加速作用のFIB照射条件依存性と3次元極微細構造形成への応用):川堰宣隆,森田昇,山田茂,高野登,大山達雄,芦田極,谷口淳,宮本岩男,日本機械学会論文集(C編),71巻,705号,pp.1754-1759(2005)
[19]ナノスケール機械加工とアルカリエッチングを併用した単結晶シリコン表面のマイクロファブリケーション(第2報,マスキング作用の加工条件依存性と3次元微細構造への応用):川堰宣隆,廖国新,森田昇,山田茂,高野登,大山達雄,芦田極,精密工学会誌,70巻,12号,pp.1544-1548(2004)
[20]Mechanical Approach to Nanomachining of Silicon Using Oxide Characteristics Based on Tribo Nanolithography(TNL)in KOH Solution:J.W.Park,N.Kawasegi,N.Morita,D.W.Lee,ASME Journal of Manufacturing Science and Engineering,Vol.126,No.11,pp.801-806(2004)
[21]シリコンモールドを用いたダイヤモンドアレイ工具の開発と応用(第1報,シリコンモールドによるダイヤモンドアレイ工具の作製):高野登,森田昇,林弘樹,川堰宣隆,山田茂,大山達雄,神田一隆,高野茂人,小幡勤,精密工学会誌,70巻,11号,pp.1402-1406(2004)
[22]Tribonanolithography of silicon in aqueous solution based on atomic force microscopy.J.W.Park,N.Kawasegi,N.Morita,D.W.Lee,Applied Physics Letters,Vol.85,No..10,pp.1766-1768(2004)
[23]ダイヤモンドアレイ工具を用いたマイクロ加工に関する研究(第1報,精密加工用工具としての性能評価):高野登,森田昇,林弘樹,川堰宣隆,山田茂,大山達雄,神田一隆,高野茂人,小幡勤,砥粒加工学会誌,48巻,9号,pp.510-514(2004)
[24]ナノスケール機械加工と化学エッチングを併用した3次元極微細構造形成(第2報,集束イオンビーム照射を利用した3次元微細構造形成の可能性):川堰宣隆,柴田浩一,森田昇,芦田 極,谷口淳,宮本岩男,日本機械学会論文集(C編),70巻,696号,pp.2541-2547(2004)
[25]ナノスケール機械加工と化学エッチングを併用した3次元極微細構造形成(第1報,摩擦力顕微鏡機構を利用した3次元微細構造の可能性):川堰宣隆,森田昇,山田茂,高野登,大山達雄,芦田極,日本機械学会論文集(C編),70巻,696号,pp.2533-2540(2004)
[26]トライボナノリソグラフィーと化学エッチングを併用した単結晶シリコンのマイクロファブリケーション(微細構造の高精細化に関する検討):川堰宣隆,森田昇,山田茂,高野登,大山達雄,芦田極,砥粒加工学会誌,48巻,8 号,pp.456-461(2004)
[27]パソコンNC化マイクロフライス盤の開発:浅田規央,栗原豪,森田昇,吉田嘉太郎,パールハット・トルシュン,林亮,伊藤寿美夫,岡崎祐一,砥粒加工学会誌,47巻,7号,pp.373-378(2003)
[28]球状単結晶シリコンの異方性エッチングによるマイクロ形状創成:平井聖児,鈴木庸介,森田 昇,芦田極,精密工学会誌,69巻,7号,pp.960-964(2003)
[29]ナノスケール機械加工とアルカリエッチングを併用した単結晶シリコン表面のマイクロファブリケーション:陳利益,森田昇,芦田極,精密工学会誌,67巻,9号,pp.1453-1457(2001)
[30]Study on Nano-machining Process Using Mechanism of a Friction Force Microscope:K.Ashida,N.Morita,Y.Yoshida,JSME International Journal Vol.44,No.1,pp.244-253(2001)
1)Semiconductor Machining at the Micro-Nano Scale,共著,Transworld Research Network,2007年
2)Nanofabrication-Fundamentals and Apprication-,共著,World Scientific,2007年
3)機械加工ハンドブック,共著,朝倉書店,2006年
4)超精密加工の基礎と実際,共著,日刊工業新聞社,2006年
5)ものづくり機械工学,共著,日刊工業新聞社,2003年
6)セラミックスの機能と応用,共著,技報堂出版,2002年
7)ファインセラミックス材料・部品の精密加工技術,共著,リアライズ社,1987年
機械加工学
精密加工学
生産加工学(修士課程)
加工物理学(博士課程)
研究概要(森田H23).pdf(pdf)